金属氟碳漆所示这可能归因于缺陷的形成和减少表明载氢处理可以增强波导紫外光敏特性所有8Ge02 -xB2 0392xS02x=12写400 5皆为摩尔分数薄膜的折射率变化都显示出和8G5B87S薄膜近似的趋势千涉仪为了评价石英基石英平面光波器件的波长温度效应我们用低温低压CP-CD反应离子蚀刻E和光刻等方法制作了以摩尔分数为光波导的2 X 2 Mch-Zede干涉仪Mch-Zede干涉仪在处温度波长相关性可调激光二极管来测址激光二极管波长从1 5255m变化到1 5755m 环境温度改变由20℃变化到80C测最精度为0 01 nm掺锗石英平面

给出了波导的相应折射率干涉仪两竹几何长度差01为1 mm在1 555m处和8G5B87S波导展示出典型的传输损耗分别为和 11dB/cm很显然这类沟栖平面波导展示了极低。

 

    传播损耗在集成光学中将有很好的应用前景表112中的2摩尔分数和4 oo摩尔分数硼掺杂样品测得的传播损耗相对较高源于制备过程中的杂质颗粒等这些缺陷可以通过优化制备工艺过程和样品清洁处理来加以降低干涉仪在1 555m的温度波长相关性 d/d由刘en 81689可调激光二极管来测址我们改女环境温度由℃变化到801C激光二极骨波长从1 5255m变化到实验发现调整波导!GeO和B2 D含载不仅能有效地调整波导折射率而且能有效改变eOp-$Z03Sl波导器件的温度波长效应保持波导GeO浓度为8肠摩尔分效当砚渗杂量由1摩尔分数增至5摩尔分数时波导1 55pn处折射率变化由14537降至14533而器件的溢度波长效应系数刀d由9 4pm/℃降至8 1 pm/C实验测得的皿掺杂。

 

    环糜尔分数的波导器件其中心波长的温度波长效应系数为与传统石英波导光学滤波器的温度波长效应系数超过相比我们成功地将把d/d降低至传统典型值的80叼甚至更低我们认为非常有意义的是本工作报道了种低溢低压感应格合等离子化学气相沉积法制备掺杂锗硼的石英平面光波导及其器件的新方法实验获得。